高真空膜滲透設備簡單應用
更新時間：2021-11-08 點擊次數：1070次
一、原理簡介：
(1)滲透汽化膜技術是一種新型膜分離技術。依靠各組分在膜中的溶解與擴散速率不同的性質來實現混合物分離的新型膜分離技術過程。
(2)具有致密皮層的滲透汽化膜將料液和滲透物分離為兩股獨立的物流。料液側則一般維持常壓，滲透物側則通過抽真空或載氣吹掃的方式維持很低的組分分壓。
(3)在膜兩側組分分壓差的推動下，料液中各組分擴散通過摸，并在膜后側汽化為滲透物蒸汽。
(4)真空鍍膜技術的存在保障了集成電路的高度集成、性能、可靠性、生產效率等。影響頗大，據估計，將近50%的大型集成電路工藝都是與真空設備掛鉤的。
(5)原液中各組分通過膜的速率不同，透過膜快的組分就可以從原液中分離出來。從膜組件中流出的滲余物可以是純度較高的透過速率較慢的組分的產物。對于一定的混合液來說，滲透速率主要取決于膜的性質。
二、應用領域：
(1)在超導技術行業中的應用，常見的鍍膜例子：高純度Nb超導濺射膜、InSb非晶超導膜、V-Hf-Zr系超導膜、Nb-(Cu)系超導膜、Nb-Ge系超導膜等。
(2)航天領域的設備要求能適應高溫、射線輻照、超高真空的環境，對于這種環境下工作的設備，采用液體潤滑劑等方法已不不著見效了，面對不可避免的高溫、摩擦、磨損、磨蝕、氧化、氣蝕、腐蝕、滲漏等因素影響，固體潤滑膜是不可少的。
(3)各種結構的薄膜太陽能電池，如非晶硅、Ⅱ-Ⅳ族(如Cds-Cu?S)、Ⅲ-Ⅴ族(如CaAs)等薄膜太陽能電池。鍍一層CaO、ln?O?、SnO?等金屬氧化物薄膜在石英玻璃上可用于太陽能集熱器當中；鍍一層CaAs、InP等多晶半導體薄膜于基材之上則可用于太陽能電池或太陽能發電系統之中。
(4)實驗鍍膜在反應堆燃料元件表面通過離子鍍上鋁膜可達到防腐蝕的效果；在受控熱核反應堆的一些低原子序數、高熔點材料(如TiB?、B?C、TiC等)薄膜，可形成表面保護、高溫保護等。
