高純氬分析色譜原理和應用領域
更新時間:2023-10-25 點擊次數:6次
高純氬分析色譜是一種用于檢測和分析高純度氬氣中微量雜質的技術。以下是對其原理的具體介紹:
一、基本原理
1、流動相輸送:輸液泵將流動相以穩定的流速或壓力輸送到分析系統中。
2、樣品引入:在進入色譜柱之前,樣品通過注射器被引入系統。
3、組分分離:流動相將樣品帶入色譜柱,在柱內各成分被分離。
4、信號檢測:分離后的成分與流動相依次流向檢測器,檢測到的信號被發送給數據系統進行記錄、處理或保存。
二、技術特點
1、高靈敏度:采用高頻氬放電檢測器,能夠檢測到極低濃度的雜質。
2、寬線性范圍:檢測器的線性范圍寬廣,適用于不同濃度級別的分析。
3、溫度控制:柱箱溫度范圍廣泛,程序升溫精度高,適應多種分析條件。
三、應用領域
1、氣體分析:
高純氬分析色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體和電子工業氣體中痕量雜質的檢測。
2、材料保護:在半導體工業中,高純氬用作生產高純硅和鍺晶體的保護氣體,以及化學氣相沉積、濺射和退火過程中的惰性氣體。
四、操作流程
1、系統檢查:必要時檢查洗脫液系統,調整減壓閥指示。
2、設備啟動:打開主機打印機等設備的電源開關,進入操作界面和系統操作面板。
3、樣品處理:樣品通過注射器進入色譜柱,流動相將樣品帶入色譜柱進行分離。
4、數據處理:探測器檢測到的信號被發送到數據系統,完成樣品后選擇檢測標準進行數據處理。
五、性能特點
1、顯示監控:配備觸摸屏液晶中文顯示,實時顯示各通道溫度和運行情況。
2、安全報警:任何傳感器開路,儀器自動顯示并報警,確保使用安全。
3、氣路穩定:高精度雙穩定氣路,可同時安裝四個檢測器,提高分析效率。
總的來說,高純氬分析色譜儀以其高靈敏度、寬線性范圍和廣泛的應用領域,成為分析和檢測高純氬中微量雜質的重要工具。通過合理的操作和維護,可以有效提高分析的準確性和效率,滿足不同行業的需求。